WikiDer > FSI International - Википедия

FSI International, Inc. (FSI) базируется в Часка, Миннесота. История компании началась с основания Fluoroware, Inc. в 1966 году, и эта компания производила приспособления для фиксации кремниевых пластин во время различных процессов, связанных с производством полупроводниковых устройств. Когда их попросили разработать сушильный аппарат, руководители Fluoroware согласились сделать это и в 1973 году основали компанию FSI International для продажи этого нового продукта. Предложение компании расширилось, чтобы удовлетворить потребности рынка в оборудовании, используемом для изготовления микроэлектроника. В 1990-х годах компания переехала из своего первоначального помещения с видом на озеро Хазельтин на более крупное место поблизости. В 1999 году FSI International объявила о соглашении о приобретении YieldUP International Corp.^[1] В октябре 2012 г. Tokyo Electron приобрела FSI International, Inc. и переименовала подразделение в TEL FSI. ^[2][3]

Товары

Компания FSI International предоставила технологические решения для кондиционирования поверхностей^{[модное слово]}, используя мокрый, криогенный и другие химические методы для очистки, снятия изоляции или травления поверхностей кремниевых пластин. Компания также занималась микролитография системы для фоторезистивных, светочувствительных и устойчивых к травлению пленок. Компания предоставляет услуги по модернизации, замене и другие услуги поддержки. Компания производит пять основных серий оборудования: ZETA, MERCURY, ORION, ANTARES и POLARIS, а ранее компания также производила системы обработки SATURN и NEPTUNE. Некоторые из продуктов компании - это системы распылительной очистки, системы очистки отдельных пластин, системы криогенной обработки и системы очистки погружением.^[4]

Рекомендации

внешняя ссылка

• Официальный FSI International интернет сайт