WikiDer > Передний конец линии

Front end of line

Эта статья нужны дополнительные цитаты для проверка. Пожалуйста помоги улучшить эту статью к добавление цитат в надежные источники. Материал, не полученный от источника, может быть оспорен и удален
Найдите источники: «Передняя часть линии» – Новости · газеты · книги · ученый · JSTOR (Декабрь 2009 г.) (Узнайте, как и когда удалить этот шаблон сообщения)

BEOL (слой металлизации) и ФЕОЛ (устройства).

Процесс изготовления CMOS

В входная линия (ФЕОЛ) - первая часть Изготовление ИС где отдельные устройства (транзисторы, конденсаторы, резисторыи т. д.) полупроводник.^[1] ФЕОЛ обычно охватывает все, вплоть до осаждения металла (но не включая). соединять слои.

Для CMOS FEOL содержит все этапы изготовления, необходимые для формирования полностью изолированных КМОП-элементов:

Выбор типа вафля использоваться; Химико-механическая планаризация и чистка вафли.
Изоляция неглубоких траншей (STI) (или LOCOS в ранних процессах, с размер элемента > 0,25 мкм)
Формирование скважины
Ворота формирование модуля
Источник и сток формирование модуля

Смотрите также

Рекомендации

^ Карен А. Рейнхардт и Вернер Керн (2008). Справочник по технологии очистки кремниевых пластин (2-е изд.). Уильям Эндрю. п. 202. ISBN 978-0-8155-1554-8.

дальнейшее чтение

"CMOS: схемотехника, компоновка и моделирование" Wiley-IEEE, 2010. ISBN 978-0-470-88132-3. страницы 177-178 (Глава 7.2 Интеграция процессов CMOS); страницы 180-199 (7.2.1 Интеграция с внешним интерфейсом)

Этот компьютерное железо статья - это заглушка. Вы можете помочь Википедии расширяя это.