WikiDer > Отжиг в печи

Furnace anneal

Отжиг в печи это процесс, используемый в изготовление полупроводниковых приборов которые состоят из нагрева нескольких полупроводник вафли чтобы повлиять на их электрические свойства. Термообработки рассчитаны на разные эффекты. Вафли можно нагреть, чтобы активировать присадки, заменить пленку на пленку или пленку на межфазную поверхность подложки, уплотнить осажденные пленки, изменить состояние выращенных пленок, восстановить повреждения от имплантаты, перемещать легирующие добавки или перемещать легирующие добавки из одной пленки в другую или из пленки в подложку пластины. Во время процесса ионной имплантации кристаллическая подложка повреждается из-за бомбардировки ионами высокой энергии. Возникшие повреждения можно устранить, подвергнув кристалл воздействию высокой температуры. Этот процесс называется отжигом. Печные отжиги могут быть интегрированы в другие стадии обработки в печи, такие как окисление, или могут обрабатываться сами по себе.

Отжиг в печи выполняется с помощью оборудования, специально предназначенного для нагрева. полупроводник вафли. Печи могут обрабатывать множество пластин одновременно, но каждый процесс может длиться от нескольких часов до одного дня. Все чаще печные отжиги вытесняются Быстрый термический отжиг (RTA) или Быстрая термическая обработка (RTP). Это происходит из-за относительно длинных термических циклов печей, из-за которых активируемые легирующие добавки, особенно бор, диффундируют дальше, чем предполагалось. RTP или RTA исправляют это, имея термические циклы для каждой пластины, которые составляют порядка минут, а не часов для отжига в печи.

Оборудование

  • Объединенная инжиниринговая компания Печи для отжига охватывают широкий спектр применений для стали и алюминия, включая отпуск, нормализацию и старение, и аналогичную автоматическую загрузку, выгрузку и естественное или принудительное охлаждение возможно с роликовым подом, подъемным или периодическим устройством.
  • Koyo Thermo Systems печи отжига для полупроводников, солнечных батарей, дисплеев и электроники
  • Tokyo Electron Limited ТЕЛФОРМУЛА и ТЕЛИНДИ ПЛЮС
  • [1] Печи для отжига - для проволоки или ленты из высоко или низкоуглеродистой стали, низкоуглеродистой и легированной стали.