WikiDer > Осаждение с помощью ионного пучка - Википедия
 | Было предложено, чтобы эта статья была слился в Ионное покрытие. (Обсуждать) Предлагается с июня 2020 года. |
Осаждение с помощью ионного пучка или же IBAD или же IAD (не путать с ионно-лучевое осаждение, IBID) является материаловедение техника, сочетающая ионная имплантация с одновременным распыление или другой физическое осаждение из паровой фазы техника. Помимо обеспечения независимого контроля параметров, таких как энергия иона, температура и скорость прибытия атома разновидность во время осаждения этот метод особенно полезен для создания постепенного перехода между субстрат материала и нанесенной пленки, а также для нанесения пленок с менее встроенными напряжение чем это возможно другими методами. Эти два свойства могут привести к созданию пленок с гораздо более прочной связь к субстрату. Опыт показал, что некоторые метастабильный соединения подобно кубический нитрид бора (c-BN) могут образовываться только в тонких пленках при бомбардировке энергичными ионами в процессе осаждения.
Смотрите также
Рекомендации
- Кестер, Дэниел Дж .; Мессье, Рассел (15 июля 1992 г.). «Фазовый контроль тонких пленок кубического нитрида бора». Журнал прикладной физики. Издательство AIP. 72 (2): 504–513. Bibcode:1992JAP .... 72..504K. Дои:10.1063/1.351881. ISSN 0021-8979.
- 4wave Inc. Страница ионно-лучевого осаждения со схемой типичной системы IBD
 | Эта статья о технологиях заглушка. Вы можете помочь Википедии расширяя это. |