WikiDer > Лазерный пробник напряжения

Laser voltage prober

В лазерный зонд напряжения (LVP) это лазерное напряжение и синхронизация форма волны система сбора данных, которая используется для выполнения анализ отказов на флип-чип интегральные схемы. Анализируемое устройство деинкапсулируется, чтобы обнажить поверхность кремния. В кремниевая подложка истончается механически с помощью механического утонения с тыльной стороны. Затем утонченное устройство устанавливают на подвижный столик и подключают к источнику электрического стимула. Измерения сигнала выполняются через заднюю часть устройства после того, как было выполнено утонение подложки. Зондируемое устройство необходимо электрически стимулировать с использованием повторяющейся тестовой таблицы, при этом запускающий импульс подается на LVP в качестве эталона. Работа LVP аналогична работе стробоскопического осциллографа.

Теория Операции

Инструмент LVP измеряет сигналы формы напряжения в областях распространения устройства. Визуализация устройства осуществляется с помощью лазерный сканирующий микроскоп (LSM). LVP использует двойной инфракрасный (ИК) лазеры для выполнения визуализации устройства и регистрации сигналов. Один лазер используется для получения изображений или сигналов с устройства, а второй лазер обеспечивает эталон, который может использоваться для вычитания нежелательного шума из получаемых данных сигнала. На электрически активном устройстве прибор отслеживает изменения фазы электромагнитный поле, окружающее сигнал, подаваемый на соединение.

Прибор получает информацию о форме напряжения и времени, отслеживая взаимодействие лазер свет с изменениями электрического поля поперек p-n переход. Поскольку лазер достигает поверхности кремния, определенное количество этого света отражается обратно. Количество отраженных лазер свет от перехода снимается в различные моменты времени. Изменение электромагнитный поле на соединение влияет на количество отраженного назад лазерного света. Построив график изменений отраженного лазерного света в зависимости от времени, можно построить временную форму сигнала на переходе. По мере того как тестовая таблица продолжает повторяться, дополнительные измерения собираются и усредняются в предыдущих измерениях. С течением времени это усреднение измерений дает более точную форму сигнала. Конечным результатом является форма волны, которая представляет электрический сигнал, присутствующий в соединение.

Рекомендации

  • Колачина, С. (2004). «Введение в лазерное измерение напряжения (LVP) интегральных схем». Анализ отказов микроэлектроники. ASM International. С. 426–430. ISBN 0-87170-804-3.