WikiDer > Миграция стресса
Миграция стресса это механизм отказа, который часто возникает в Интегральная схема металлизация (алюминий, медь). Пустоты образуются в результате миграции вакансий из-за гидростатический градиент напряжения. Большие пустоты могут привести к обрыву цепи или недопустимому увеличению сопротивления, которое ухудшит работу ИС. 'Миграцию стресса часто называют снятие стресса, вызванное стрессом мочеиспускание или же SIV.
Высокотемпературная обработка медных двойных дамаскиновых структур оставляет медь с большим растягивающим напряжением из-за несоответствия в коэффициентах теплового расширения используемых материалов. Напряжение может со временем ослабиться за счет диффузии вакансий, что приведет к образованию пустот и, в конечном итоге, к отказам в разомкнутой цепи.[1]
Рекомендации
- ^ Миграция напряжений и механические свойства меди. Алерс и др.
 | Этот промышленность-связанная статья является заглушка. Вы можете помочь Википедии расширяя это. |