WikiDer > Интерферометрия белого света

Над: Белый свет Интерферограмма, Ниже: Красный, Зеленый и Синий каналы интерферограммы белого света, показанной выше

Как описано здесь, интерферометрия белого света представляет собой бесконтактный оптический метод измерения высоты поверхности на трехмерных структурах с профилем поверхности от десятков нанометров до нескольких сантиметров. Часто используется как альтернативное название для когерентная сканирующая интерферометрия в контексте оборудования для поверхностной топографии, использующего спектрально-широкополосный свет видимой длины волны (белый свет).

Основные принципы

Интерферометрия использует принцип суперпозиции волн для объединения волн таким образом, чтобы результат их комбинации извлекал информацию из этих мгновенных волновых фронтов. Это работает, потому что, когда две волны объединяются, результирующий узор определяется фаза разница между двумя волнами - волны, которые находятся в фазе, будут подвергаться конструктивной интерференции, в то время как волны, которые находятся в противофазе, будут подвергаться деструктивной интерференции. Хотя интерферометрия в белом свете не нова, сочетание старых методов интерферометрии с современной электроникой, компьютерами и программным обеспечением позволило получить чрезвычайно мощные инструменты измерения. Юрий Денисюк и Эммет Лейт много сделали в области голографии в белом свете и интерферометрии.^{[1][2][3][4][5][6][7]}

Несмотря на то, что существует несколько различных методов интерферометра, три из них наиболее распространены:

1. дифракционная решетка интерферометры.
2. вертикальное сканирование или интерферометры с зондом когерентности.
3. белый свет пластинчатые интерферометры.

Хотя все три интерферометра работают с источником белого света, только первый, интерферометр с дифракционной решеткой, действительно ахроматический. Все три обсуждаются Вайантом.^[8] Здесь подробно обсуждаются интерферометры с вертикальным сканированием или когерентными зондами, поскольку они широко используются в метрологии поверхности в современных высокоточных промышленных приложениях.

Установка интерферометра

Рисунок 1: Схематическое изображение интерферометра белого света

А CCD датчик изображения, аналогичный тем, которые используются для цифровая фотография помещается в точку наложения двух изображений. Широкополосный источник «белого света» используется для освещения испытательной и эталонной поверхностей. Конденсорная линза коллимирует свет от широкополосного источника света. А Разделитель луча разделяет свет на опорный и измерительный лучи. Эталонный луч отражается эталонным зеркалом, а измерительный луч отражается или рассеивается от испытательной поверхности. Обратные лучи передаются светоделителем на ПЗС-датчик изображения и образуют интерференционную картину топографии тестовой поверхности, которая пространственно измеряется отдельными пикселями ПЗС.

Рабочий режим

Рис. 2: Оптическая схема интерферометра Тваймана-Грина с датчиком изображения CCD.

В вмешательство происходит для белый свет когда путь длины луча измерительного и эталонного пучка практически совпадают. Путем сканирования (изменение) измерение длины пути луча относительно опорного пучка, А коррелограмма генерируется в каждом пикселе. Ширина полученной коррелограммы - это длина когерентности, которая сильно зависит от спектральной ширины источника света. Тестовая поверхность, имеющая элементы разной высоты, приводит к фазовой диаграмме, которая смешивается со светом от плоского эталона в плоскости датчика изображения ПЗС. Помехи возникают в пикселе ПЗС, если длина оптического пути двух плеч отличается менее чем на половину длина когерентности источника света. Каждый пиксель ПЗС-матрицы измеряет различное пространственное положение в пределах изображения тестовой поверхности. Типичная коррелограмма белого света (интерференционный сигнал) создается, когда длина эталонного или измерительного плеча сканируется позиционирующим столиком через согласование длины пути. Сигнал интерференции пикселя имеет максимальная модуляция когда длина оптического пути света, падающего на пиксель, абсолютно одинаково для эталонного и объектного лучей. Следовательно, значение z для точки на поверхности, отображаемой этим пикселем, соответствует значению z на этапе позиционирования, когда модуляция коррелограммы наибольшая. А матрица со значениями высоты поверхности объекта могут быть получены путем определения z-значений этапа позиционирования, где модуляция является наибольшей для каждого пикселя. Вертикальная неопределенность зависит в основном от шероховатости измеряемой поверхности. Для гладких поверхностей точность измерения ограничена точностью позиционирования. Боковое положение значений высоты зависит от соответствующей точки объекта, отображаемой матрицей пикселей. Эти боковые координаты вместе с соответствующими вертикальными координатами описывают топографию поверхности объекта.

Интерферометрические микроскопы белого света

Рисунок 3: Схематическое изображение интерференционного микроскопа с объективом Мирау.

Для визуализации микроскопических структур необходимо совместить интерферометр с оптикой микроскоп. Такое расположение показано на рисунке 3. Эта установка похожа на стандартный оптический микроскоп. Единственные отличия - это интерферометрическая линза объектива и столик точного позиционирования ( пьезоэлектрический привод) для вертикального перемещения объектива. Оптическое увеличение изображения на ПЗС не зависит от расстояния между линзой трубки и линзой объектива, если микроскоп отображает объект на бесконечности. Интерференционный объектив - самая важная часть такого микроскопа. Доступны разные типы целей. С Мирау Как показано на рис. 3, опорный луч отражается обратно в направлении передней линзы объектива с помощью светоделителя. На передней линзе находится миниатюрное зеркало того же размера, что и освещаемая поверхность на объекте. Следовательно, при больших увеличениях зеркало настолько маленькое, что его затенение можно не учитывать. Перемещение интерференционного объектива изменяет длину измерительного плеча. Сигнал помехи пикселя имеет максимальную модуляцию, когда длина оптического пути света, падающего на пиксел в точности то же самое для справки и объектного пучков. Как и раньше, значение z для точки на поверхности, отображаемой этим пикселем, соответствует значению z на этапе позиционирования, когда модуляция коррелограммы наибольшая.

Связь между спектральной шириной и длиной когерентности

Как упоминалось выше, z-значение этапа позиционирования, когда модуляция сигнала помехи для определенного пикселя является наибольшей, определяет значение высоты для этого пикселя. Следовательно, качество и форма коррелограммы имеют большое влияние на разрешение и точность системы. Наиболее важными характеристиками источника света являются его длина волны и длина когерентности. Длина когерентности определяет ширину коррелограммы, которая зависит от спектральная ширина источника света, а также по таким структурным аспектам, как пространственная когерентность источника света и числовая апертура (NA) оптической системы. Следующее обсуждение предполагает, что доминирующий вклад в длину когерентности вносит спектр излучения. На рисунке 4 вы можете увидеть спектральная плотность функция для Гауссов спектр, что, например, является хорошим приближение для светодиода (СВЕТОДИОД). Показано, что соответствующая модуляция интенсивности существенна только в окрестности положения z₀ где опорный и объектный лучи имеют одинаковую длину и когерентно накладываются друг на друга. Диапазон z этапа позиционирования, в котором огибающая модуляции интенсивности превышает 1 / е максимального значения, определяет ширину коррелограммы. Это соответствует длине когерентности, так как разность длины оптического пути в два раза разница длины опорных и измерительных плечи интерферометра. Взаимосвязь между шириной коррелограммы, длиной когерентности и спектральной шириной вычисляется для случая гауссова спектра.

Длина когерентности и спектральная ширина гауссовского спектра

Рисунок 4: Функция спектральной плотности источника света и интенсивность света как функция положения зеркала объекта.

Нормализованная функция спектральной плотности определяется согласно уравнению 1:

${ Displaystyle S ( nu) = { frac {1} {{ sqrt { pi}} Delta nu}} exp left [- left ({ frac { left ( nu - nu _ {0} right)} { Delta nu}} right) ^ {2} right]}$,

где ${ displaystyle 2 Delta nu}$ - эффективная полоса пропускания 1 / e, а 0 - средняя частота. Согласно обобщенному Теорема Винера – Хинчина, автокорреляционная функция светового поля задается преобразованием Фурье спектральной плотности - уравнением 2:

${ Displaystyle к ( тау) = int limits _ {- infty} ^ { infty} S ( nu) exp left (-i2 pi nu tau right) d nu = exp left (- pi ^ {2} tau ^ {2} Delta nu ^ {2} right) exp left (-i2 pi nu _ {0} tau right)}$

которая измеряется путем вмешательства светового поля эталонных и объектных пучков. В случае, если интенсивности в обоих плечах интерферометра одинаковы, интенсивность, наблюдаемая на экране, приводит к соотношению, приведенному в уравнении 3:

${ Displaystyle I (z) = I_ {0} cdot Re {1 + к ( тау) }}$,

Вот ${ displaystyle I_ {0} = I_ {obj} + I_ {ref}}$ с участием ${ displaystyle I_ {obj}}$ и ${ displaystyle I_ {ref}}$ - интенсивности от измерительного плеча и эталонного плеча соответственно. Средняя частота ${ displaystyle nu _ {0} = c / lambda _ {0}}$ может быть выражена центральной длиной волны, а эффективная ширина полосы - длиной когерентности, ${ Displaystyle L_ {c} = c / pi Delta nu}$. Из уравнений 2 и 3 можно получить интенсивность на экране - уравнение 4:

${ Displaystyle I (z) = I_ {0} left (1+ exp left [-4 left ({ frac { left (z-z_ {0} right)} {L_ {c}}) } right) ^ {2} right] cos left (4 pi { frac {z-z_ {0}} { lambda _ {0}}} - varphi _ {0} right) правильно)}$,

принимая во внимание, что ${ Displaystyle тау = 2 cdot (z-z_ {0}) / c}$ где c - скорость света. Соответственно, уравнение 4 описывает коррелограмму, как показано на рисунке 4. Можно видеть, что распределение интенсивности формируется Гауссовский конверт и периодический модуляция с периодом ${ displaystyle lambda _ {0} / 2}$. Для каждого пикселя выбирается коррелограмма с заданным размером шага z-смещения. Однако, фазовые сдвиги на поверхности объекта неточности этапа позиционирования, различия в дисперсии между плечами интерферометра, отражения от поверхностей, отличных от поверхности объекта, и шум в ПЗС-матрице могут привести к искажению коррелограммы. Хотя реальная коррелограмма может отличаться от результата в уравнении 4, результат проясняет сильную зависимость коррелограммы от двух параметров: длины волны и длины когерентности источника света. В интерференционной микроскопии с использованием белого света более полное описание генерации сигнала включает дополнительные параметры, связанные с пространственной когерентностью.^[9]

Вычисление максимума конверта

Огибающая функция - уравнение 5:${ displaystyle E (z) = exp left [-4 left ({ frac { left (z-z_ {0} right)} {L_ {c}}} right) ^ {2} правильно]}$ описывается экспоненциальным членом уравнения 4. программного обеспечения вычисляет огибающую по данным коррелограммы. Принцип вычисления огибающей заключается в удалении косинусного члена уравнения 4. С помощью Преобразование Гильберта член косинуса заменяется членом синуса. Огибающая получается суммированием мощностей косинусоидальных и синусоидальных коррелограмм - уравнение 6:${ displaystyle E (z) = { sqrt { left ( exp left [-4 left ({ frac { left (z-z_ {0} right)} {L_ {c}}} справа) ^ {2} right] cos left (4 pi { frac {z-z_ {0}} { lambda _ {0}}} right) right) ^ {2} + left ( exp left [-4 left ({ frac { left (z-z_ {0} right)} {L_ {c}}} right) ^ {2} right] sin left ( 4 pi { frac {z-z_ {0}} { lambda _ {0}}} right) right) ^ {2}}}}$.

Два немного разных алгоритмы реализованы для расчета максимума конверта. Первый алгоритм используется для оценки огибающей коррелограммы; z-значение выводится из максимума. Второй алгоритм дополнительно оценивает фазу. С интерфейсом автоматизации (например, макросы), можно использовать любой из алгоритмов. Неопределенность вычисления максимума огибающей зависит от: длины когерентности, размера шага дискретизации коррелограммы, отклонений z-значений от желаемых значений (например, из-за вибрации), контраста и шероховатости поверхности. Наилучшие результаты достигаются при небольшой длине когерентности, небольшом размере шага выборки, хорошей виброизоляции, высокой контрастности и гладких поверхностях.

Смотрите также

• Интерферометрия
• Когерентная сканирующая интерферометрия
• Сканер белого света
• белый свет
• Лазерный доплеровский виброметр

использованная литература

внешние ссылки

• Интерферометры белого света в энциклопедии лазерной физики и техники
• Основы интерферометрии белого света (637 КБ)
• Как работает интерферометрия белого света? (Видео)
• Производитель двухрежимных интерферометров белого света
• Коммерческие 3D оптические профилометры на основе интерферометрии белого света
• Коммерческое измерение оптической дисперсии с помощью интерферометрии белого света
• Галерея изображений, сделанных с помощью интерферометрии в белом свете