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ASML Holding N.V.
Der 82 Meter hohe Turm der ASML-Zentrale in Veldhoven
Stipendium	NASDAQ: ASML, Euronext: ASML
Einrichtung	1984
Gründer(n)	ASM International und Königliches Philips
Schlüsselfiguren	Peter Wennink (Präsident & CEO); Martin van den Brink (Präsident & CTO)
Hauptquartier	Veldhoven, Die Niederlande
Angestellte	26.614 (in VZÄ, 2020), ohne 1459 Leiharbeitnehmer
Produkte	Lithographiesysteme für die Halbleiterindustrie
Einnahmen/Jahr	13.979 Mio. € (2020)[1]
profitieren/Jahr	3554 Mio. € (2020)[1]
Marktkapitalisierung	190 Milliarden € (20. Januar 2021)
Webseite	ASML
Portal    Wirtschaft

ASML ist ein NiederländischHightech-Unternehmen und Hauptlieferant von Maschinen für die Halbleiterindustrie, bestimmtes Stepper und Scanner, die bei der Herstellung verwendet werden Kartoffelchips. Kunden sind meist Chiphersteller.

Der Hauptsitz und der Geschäftskomplex von ASML befinden sich in Veldhoven, wo beide Forschung und Entwicklung als Montage in Saubere zimmer stattfinden. Darüber hinaus verfügt das Unternehmen über 60 Servicestützpunkte in 14 Ländern, die die Installation und Lieferung von Maschinen und Ersatzteilen unterstützen.

ASML entstand aus a Gemeinschaftsunternehmen von ASM International und Königliches Philips. Das Unternehmen besteht seit 1995 gelistet und ist Teil der AEX und NASDAQ unter dem Symbol ASML. Hauptkonkurrenten sind Kanon und Nikon.

Technologie

Ein altes ASML-Objektiv

ASML-Systeme - Wafer-Stepper und Step-and-Scan-Maschinen - verwenden Sie a fotografisch Prozess der Herstellung von Mustern auf SiliziumWaffeln bewerben. Eine Lichtquelle wie a Laser- projiziert ein Bild dieses Musters durch einen Shrink Linse auf der Waffel. Diese ist mit einer Schicht lichtempfindlichen Materials (Fotolack). Der Wafer wird dann entwickelt und weiterbehandelt, wonach die erste Schicht des Transistormusters erscheint. Dieser Vorgang wird 30 bis 40 Mal wiederholt und ein Wafer voller ICs wird Schicht für Schicht aufgebaut. Letztendlich werden diese ICs in einer Vielzahl von Produkten verwendet, sowohl in Konsumgütern als auch in Notizbücher, Mobiltelefone und Mp3-Playersowie professionelles Equipment. Im Jahr 2007 behauptete ASML, dass über 60 % aller weltweit hergestellten Computerchips mit ASML-Maschinen hergestellt werden.^[2]

Die größte Aufgabe für ASML und seine Kunden – Chiphersteller – besteht darin, den Chips immer kleinere Details aufbringen zu können, wodurch diese mehr Rechen- bzw. Kürzere Abstände zwischen den Komponenten führen auch zu einer Erhöhung der Geschwindigkeit. Bisher folgte die Anzahl der Bauteile pro Flächeneinheit der Moores Gesetz. Diese Erfahrungsregel zeigt eine Verdoppelung nach festen Zeitintervallen. Es ist insbesondere die Lithographiesysteme die bestimmen, ob die Details auf einem Chip reduziert werden können: Die Bilder müssen immer weiter verkleinert werden, und das erfordert Licht von immer kürzeren Wellenlänge, oder unter Verwendung von Techniken, die das Licht einer bestimmten Wellenlänge voll ausnutzen können. ASML behauptete im Februar 2007, dass seine Systeme die kleinsten Bilder auf Siliziumwafern erzeugen könnten: 37 Nanometer (nm).^[3] ASML verwendet die Immersionslithographie mit dem es zuerst angefangen hat.

Inzwischen wurden neue Maschinen auf Basis von Extremen verkauft ultraviolett light (EUV), das noch feinere Details ermöglicht.^[4] Vier Einheiten wurden 2016 an Kunden ausgeliefert, weitere 10 im Jahr 2017. Die Maschinen kosten jeweils rund 100 Millionen Euro.^[5][6]

Das nächste System ist nun bekannt: High-NA, ein Gerät, das bis zu 3 Nanometer lithographieren kann. Das System soll 2024 auf den Markt kommen.^[7]

Name

Offiziell ist der Name ASML keine Abkürzung. Der Name stammt aus dem Gemeinschaftsunternehmen zwischen Philips und Advanced Semiconductor Materials International (ASMI), was der Name ASM-Lithographie habe. Als dieses Unternehmen 1988 unabhängig wurde, erwies es sich als unklug, einen neuen Namen anzunehmen und entschied sich für ASML als offizieller Name.^[8][9]

Geschichte

Das Unternehmen wurde 1984 als Joint Venture zwischen ASM International und Philips gegründet, um den Philips Stepper (Silicon Repeater 3) zu vermarkten. Ursprünglich war das Unternehmen im Gebäude TQ-3 von Philips Scientific & Industrial untergebracht und mit den Büros in Holzbaracken gegenüber dem Gebäude TQ-3. Dort die erste PAS (Automatischer Philips Stepper) Stepper entwickelt und installiert. Sowohl die PAS 2000 als auch die PAS 2400. 1985 gehen PAS 2400 Stepper an das Philips NatLab und an Philips Elcoma in Nijmegen und Hamburg. Features: g-Linie, Cerco-Linse, der damals einzigartige elektrische Wafertisch und das damals einzigartige Wafer-Ausrichtungssystem, Beleuchtungsfeld von zehn mal zehn Millimetern, fünf Zoll Absehen, Smif-Boxen. G-Linie steht für Licht mit einer Wellenlänge von 436 nm aus einer Quecksilberlampe.

1985 hatte es 100 Mitarbeiter und ein Hauptsitz wurde in . eröffnet Veldhoven in Gebrauch nehmen. Es gibt auch ein Büro tempeh im Arizona. 1986 veröffentlichte ASML den Nachfolge-Stepper PAS 2500/10. Die erste Maschine geht an Semicon West '86 in San Mateo und die zweite an das Megachip-Projekt im NatLab. Ausstattung: wie PAS2400, aber jetzt mit Zeiss-Objektiv, Belichtungsfeld vierzehn mal vierzehn Millimeter. Seit 1984 arbeitet ASML mit dem Linsenhersteller zusammen Carl Zeiss AG gestartet.

Zwei Jahre später, 1987, kam die PAS 2500/40 mit i-line-Technologie (ultraviolettes Licht mit einer Wellenlänge von 365 nm) auf den Markt. Damit konnten Details von 0,7 Mikrometern abgebildet werden. ASM International verkaufte 1988 seinen Anteil an ASML an Philips. ASML ist nun auch in den asiatischen Markt eingetreten.

1989 stellte ASML den PAS 5000/50 vor, der Details von bis zu 0,5 Mikrometern anzeigen konnte. Erstmals wurde Gewinn gemacht. Ein Jahr später wurden bereits 200 Stepper pro Jahr produziert.

1991 wurde die PAS 5000/70 eingeführt, die Details bis zu 0,35 Mikrometern abbilden kann. Es verwendet Licht bei 248 nm im fernen Ultraviolett. Dazu ein KrF Excimer-Laser wo früher eine Quecksilberlampe verwendet wurde. 1993 begann die Produktion von Step-and-Scan-Maschinen.

Am 16. März 1995 brachte Philips ASML an die Börse. Angeführt von Willem Maris und Martin van den Brink wurde die Produktionskapazität in Veldhoven verdoppelt. 1998 belegte ASML den zweiten Platz in der Weltrangliste der Hersteller von Chipmaschinen.

1999 kaufte ASML die amerikanischen MaskTools.^[10] Der Marktanteil betrug 37 %.

Am 21. Mai 2001 fusionierte ASML mit SVGL (Silicon Valley Group Lithography), einem Unternehmen, das bei Step-and-Scan-Maschinen stark war. ASML trat in den japanischen Markt ein und Philips reduzierte seinen Anteil von 23 % auf 7 %. Die Wellenlänge des Laserlichts wurde mit einem ArF-Laser auf 193 nm reduziert.

2002 wurde ASML Weltmarktführer bei Chipmaschinen. Im Jahr 2003 waren bereits mehr als 2000 ASML-Maschinen installiert. Sie begannen mit F . zu experimentieren₂ (Fluor-)Laser mit einer Wellenlänge von 157 nm, aber am Ende entschied man sich für die bekannte Wellenlänge von 193 nm und die Tauchtechnik weiterentwickelt werden, so dass mit dieser Leuchte kleinere Details erzielt werden können. Im Jahr 2005 wurde der Twinscan XT:1700i angekündigt, der die Immersionstechnologie verwendet.

August 2006 wurden die ersten beiden Demonstrationsanlagen für EUV (Extreme UltraViolet, Licht mit einer Wellenlänge von 13,5 nm) an die Entwicklungszentren ausgeliefert IMEC (Löwen, Belgien) und CNSE (Albany, New York). Loslegen 2007 der amerikanische Brion wurde gekauft.^[11] 2007 wurde auch der erste Twinscan XT-1900i für die Bildgebung von Logikbausteinen bis 32 nm und Speicherbausteinen bis 40 nm auf den Markt gebracht.^[12]

2009 wurde der Twinscan NXT: 1950i auf den Markt gebracht.^[13] Durch die Verwendung von Magnetschwebetechnik konnte die Anzahl der belichteten Wafer pro Zeiteinheit erhöht werden. Darüber hinaus könnten die Bilder durch eine weitere Positionsfixierung verkleinert werden.^[14]

Am 17. Oktober 2012 gab ASML die Übernahme des amerikanischen Lichtquellenherstellers bekannt Cymer für 1,95 Milliarden US-Dollar in bar und in Aktien.^[15] Zu dieser Zeit war es die größte Akquisition in der Geschichte von ASML. Mit der Übernahme will ASML die Entwicklung der neuesten Maschinen beschleunigen, die extremes ultraviolettes Licht (EUV) verwenden. Die Übernahme führt zu mehr Effizienz in der Lieferkette und in Forschung und Entwicklung. Der Hauptsitz von Cymer befindet sich in San Diego dort arbeiten rund 1200 Vollzeitbeschäftigte. Im Jahr 2011 erzielte Cymer einen Nettogewinn von 80 Millionen US-Dollar auf a Einnahmen von 594 Millionen US-Dollar. Die Übernahme wurde im Mai 2013 abgeschlossen.

Im Juni 2016 gab ASML die Übernahme von Hermes Microvision bekannt.^[16] ASML ist bereit, 2,75 Milliarden Euro für den Hersteller von Inspektionsgeräten für Chipmaschinen zu zahlen.^[16] Mit dem Kauf kann ASML noch kleinere Chips herstellen, denn die Ausrüstung, die Hermes baut, steuert den Produktionsprozess. ASML arbeitet seit zwei Jahren mit dem taiwanesischen Unternehmen zusammen. ASML wird den Erwerb teilweise in bar, teilweise durch eigene Aktien und teilweise durch Ausgabe neuer Aktien bezahlen. Die Transaktion wurde am 22.11.2016 erfolgreich abgeschlossen.

Im November 2016 gab ASML den Kauf einer Minderheitsbeteiligung von 24,9% an Carl Zeiss SMT für 1 Milliarde Euro bekannt.^[17] ASML und Muttergesellschaft Carl Zeiss AG haben eine dreißigjährige Geschäftsbeziehung, wobei Zeiss Linsen für die aktuelle Generation von Chipmaschinen und Spiegel für die neuesten EUV-Maschinen liefert. ASML unterstützt außerdem die F&E für EUV beim deutschen Unternehmen in den nächsten sechs Jahren um rund 760 Millionen Euro.^[17] Mit diesem Geld will Zeiss die Schärfentiefe des Spiegelsets für EUV von jetzt 0,33 auf 0,5 verbessern. Dies ist notwendig, um die Chips weiter auf unter 3 nm reduzieren zu können.^[17] Im Juni 2017 hatte ASML alle behördlichen Genehmigungen erhalten und die Transaktion konnte abgeschlossen werden.

Am 28. Januar 2019 wurde bekannt, dass ASML Mapper-Lithographie wird übernehmen.^[18] Mapper wurde Ende Dezember 2018 für insolvent erklärt. Der Kaufpreis wurde nicht bekannt gegeben. ASML wird das geistige Eigentum und die meisten der 240 Mitarbeiter von Mapper erwerben.

Seit 2019 erwägt der niederländische Staat die Ausfuhrgenehmigung nach China aufgrund sensibler internationale Beziehungen. Die USA wollen nicht, dass China eine vollwertige Chipindustrie entwickelt und befürchten, dass die Technologie von ASML für militärische Zwecke verwendet werden könnte.^[19]

Strategische Aktionäre

Im Juli 2012 gab ASML bekannt, dass es 25 % der Aktienkapital ist Technologieunternehmen vorbehalten, die auch wichtige Kunden sind. Diese Aktionäre werden Partner in der sogenannten Kunden-Co-Investment-Programm das sich auf die Erforschung und Entwicklung einer neuen Generation von Lithografietechnologien konzentriert.^[20] Die Entwicklung von Waffeln jetzt sofort Durchmesser ab 450mm gehört dazu und auch die Weiterentwicklung der Kartoffelchips Produktion mit EUV (Extreme UltraViolet). Dieses Programm umfasst eine Gesamtinvestition von 1,38 Milliarden Euro, verteilt auf die Jahre 2012 bis 2017. Der Erlös aus dem Aktienverkauf in Höhe von rund 4,2 Milliarden Euro wird für den Rückkauf bestehender Aktien in gleicher Höhe verwendet. Am 4. Dezember 2012 gab ASML bekannt, dass die Aktien tatsächlich zurückgekauft wurden.^[21] Insgesamt wurden 96,6 Millionen Aktien zu einem durchschnittlichen Preis von 39,91 € je Aktie vom Markt genommen. Insgesamt hat ASML 3,85 Milliarden Euro für diesen Aktienrückkauf ausgegeben. Die an die strategischen Aktionäre ausgegebenen Aktien haben kein Stimmrecht. Die Partner dürfen in den nächsten sechs Jahren keine Beteiligung von mehr als 19,9 % an ASML aufbauen.

Es amerikanischIntel war der erste strategische Aktionär; Intel hat einen Anteil von 15 % erworben und wird 830 Millionen Euro zum Entwicklungsprogramm beitragen. Für Intel bedeutet dies eine Gesamtinvestition von 3,3 Milliarden Euro. Es folgte Mitte August Taiwanese Chipfirma TSMC die für 838 Mio. € eine 5%ige Beteiligung an ASML erworben hat.^[22] Auch dieses Unternehmen wird in den nächsten fünf Jahren 276 Millionen Euro in das Projekt investieren. Der letzte strategische Aktionär ist Samsung-Elektronik; Es folgte eine Investition von 276 Mio. € und das südkoreanische Unternehmen beteiligte sich ebenfalls mit 3% an ASML. Am 16. Januar 2015 wurde bekannt, dass TSMC das Aktienpaket aus dem Jahr 2012 mit einem Gewinn von rund einer halben Milliarde Euro an einen Großinvestor verkauft hat.^[23]

Ergebnisse

ASML liefert weltweit, aber die meisten Kunden befinden sich in Asien. 2011 wurden 66 % des Umsatzes in dieser Region erzielt, 25 % in der Vereinigte Staaten und knapp 9% in Europa.^[24] Der größte Kunde war für ein Viertel des Gesamtumsatzes verantwortlich. Hauptlieferant von ASML ist Zeiss, ein Hersteller von Linsen und optische Komponenten. Der Anteil von Zeiss an den gesamten Beschaffungskosten von ASML beträgt knapp 30 %.^[24] Aufgrund der großen gemeinsamen Interessen sind beide Unternehmen eine strategische Allianz dazugekommen; diese kann nur unter Einhaltung einer Kündigungsfrist von drei Jahren von einer der Parteien gebrochen werden. ASML gibt viel Geld für Forschung und Entwicklung aus; 2011 kamen fast 600 Millionen Euro zusammen F&E problematisch.^[24]

Die Umsatz- und Ergebnisentwicklung weist große Schwankungen auf, siehe Abbildung unten. Die Nachfrage nach Halbleitern schwankt aufgrund der wirtschaftlichen und technologischen Entwicklung. Als wichtiger Lieferant sieht ASML diese Schwankungen im eigenen Geschäftsbetrieb verstärkt. Dies zeigt sich insbesondere in den Aufträgen, die das Unternehmen erhält; 2009 wurden 98 Einheiten bestellt, 2010 verdreifachte sich diese auf rund 285 Einheiten und sank 2011 auf 134 Einheiten.^[24] Die Anzahl der Episoden über diese drei Jahre betrug 70, 197 bzw. 222 Einheiten.^[24] Im Jahr 2014 betrug der durchschnittliche Verkaufspreis pro gelieferter Einheit 31 Mio. € gegenüber durchschnittlich ca. 19 Millionen Euro in den Jahren 2009 bis 2011.^[24]

ASML: Umsatz und Gewinn 2000-2018

ASML: Anzahl der ausgelieferten Maschinen 2007-2017

Jahr	Einnahmen	profitieren	Geliefert
2000	2,67 Milliarden €	378,05 Mio. €
2001	1,59 Milliarden €	€ - 478,99 Mio.
2002	1,96 Milliarden €	- 207,82 Mio. €
2003	1,54 Milliarden €	- 124,51 Mio. €
2004	2,47 Mrd. €	235,46 Mio. €
2005	2,53 Milliarden €	311,46 Mio. €
2006	3,58 Mrd. €	618,55 Mio. €
2007	3,77 Milliarden €	671,00 Mio. €	260 Stück
2008	2,95 Mrd. €	322,37 Mio. €	151 Stück
2009	1,60 Mrd. €	-150,92 Mio. €	70 Stück
2010	4,51 Milliarden €	1,02 Milliarden € €	197 Stück
2011	5,65 Mrd. €	1,47 Mrd. €	222 Stück
2012	4,73 Milliarden €	1,15 Milliarden €	170 Stück
2013	5,25 Milliarden €	1,02 Milliarden €	157 Stück
2014	5,86 Milliarden €	1,12 Milliarden €	136 Stück
2015	6,29 Milliarden €	1,39 Milliarden € €	169 Stück
2016	6,80 Milliarden €	1,47 Mrd. €	157 Stück
2017	9,05 Mrd. €	2,12 Milliarden €	198 Stück
2018	10,9 Milliarden €	2,59 Milliarden €	224 Stück
2019	11,8 Milliarden €	2,59 Milliarden €	229 Stück
2020	14,0 Mrd. €	3,60 Milliarden €	258 Stück

Strategische Bedeutung und Sicherheitsverletzungen

Cyberangriffe

Angesichts der Alleinstellung des Unternehmens ist mit Versuchen, seine Daten zu stehlen, zu rechnen. Am 27. Februar 2015 berichteten anonyme Quellen, dass Hacker wahrscheinlich Hightech-Informationen gestohlen hatten.^[25]

Spionage

Spione hatten lange Zeit Zugang zu einer begrenzten Anzahl von Geschäftsgeheimnissen, die von ASML gekauft und auch gestohlen wurden. Der Schaden geht in die Hunderte Millionen Euro. Der Diebstahl ereignete sich in einer ASML-Einrichtung in San Jose, USA. ASML hat dies bestätigt.^[26][27] Die Spionagefirma XTAL ging bankrott, als die kalifornischen Richter ASML hohen Schadenersatz zusprachen. Am 4. Mai 2019 wurde schließlich ein Betrag von 865 Millionen US-Dollar zugesprochen, wodurch ASML alle Patente von XTAL erwarb.^[28]

Externe Links

• (und) ASML . Offizielle Website
• (und) Offizielle Website von Cymer